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日本岛津 SHIMADZU TMP-1303LMEC-T2分子泵
Shimadzu TURBO Pump Controllers 日本岛津分子泵电源：
EI-D203M、EI-D303M、EI-D403M、EI-D803M、EI-D1003M、 EI-D1103M、 EI-D1303M 、EI-D2003M 、EI-D3403M、 EI-R04M、 EI-D2203M 、EI-D3203M 、EI-D4203M、EI-3203MD、EI-S04M等
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岛津是的涡轮分子泵（TMP）制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。
岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度，可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如，使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。
我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下：
1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干
2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.16标准,
5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10－7mbar等
6、持续模拟生产现场测试24小时,
7、0-20KHz震动频谱加速度分析
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