广州潽拓光电科技有限公司——爱德华磁悬浮分子泵，分子泵

SEIKO SEIKI STP-301H Turbo Pump分子泵

Shimadzu真空分子泵维修部分型号:

TMP ：TMP803LM，TMP 1003LM、TMP-1503LM(A2)、TMP 2001-lme 、TMP 2003LM，TMP-50、TMP-203m-g1、TMP-403lm、TMP-803lm、TMP-1303lmc-g1、TMP-1303LMEC-T2、TMP 3203LM、TMP-2304/2804、TMP-3304LMFC，TMP-3403LMEC-T2 、TMP-4304LMC、 TMP-V3304LM、EI-V04M(2304-PB)等

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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岛津是的涡轮分子泵（TMP）制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。

岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度，可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如，使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。

我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下：

1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干

2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品

3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量

4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.16标准,

5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10－7mbar等

6、持续模拟生产现场测试24小时,

7、0-20KHz震动频谱加速度分析

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 涡轮分子泵的优点：

启动快

耐各种射线的照射

耐大气冲击

无储气和解吸作用

无油蒸气污染或污染极shao

可获得洁净的超高真空

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