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PID控制算法简单、鲁棒性好、可靠性高,在静电力反馈微传感器中应用广泛。PID控制器中的比例作用可以及时反映系统的误差信号,并减小系统偏差;积分作用可以消除稳态误差,实现对设定值的无静态跟踪;微分作用可以改善系统的响应速度和稳定性。通过正确地设置PID控制器的参数,就可以使其满足静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的测量要求。
根据对inficon电容薄膜真空计的微电容测量方法的分析,可以看出,针对不同结构的敏感电容,存在不同的测量方法。单侧电极微电容测量法电路结构简单,易于实现,适用于敏感电容初值较大且电容变化量也较大的场合。在测量的过程中,可以引入一个电容值与敏感电容初值相等的参考电容来构成差分测量电路,从而在一定程度上消除寄生电容的影响,提高系统的线性度。
双侧电极微电容测量法适用于敏感电容为差动结构且初值及变化量都很小的场合,其电路通常包含开关电容电路以及时钟电路,这就使得电路结构比较复杂,但在双侧电极微电容测量法中,传感器与检测电路构成了双差动结构,从而能抑制测量过程中的噪声、减小寄生电容的影响,具有较高的电源抑制比及共模抑制比。
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真空检漏的实际意义?答:真空系统软件的限真空决策于系统软件的抽速和漏汽量,故在抽速一定时,漏气量就选择了真空度,欲使系统软件实现设定的限真空,务必根据检漏和补漏使体系的漏汽量操纵在容许漏率范畴内。
从基本原理上讲,真空检漏可分成哪两类?答:可以分成:1)工作压力检漏法,包含①打气检漏法,②卤素灯泡检漏法,③氨检漏法。2)真空检漏法,包含①高频率火苗检漏法,②真空计检漏法,③质谱仪检漏法。
概述真空泵的抽真空基本原理。答:1)利用缩小功效将汽体清除到泵外。a.机械设备周期时间式胀大缩小,b.蒸气流黏滞牵引带缩小,c.刚度表层的牵引带缩小。2)利用吸咐功效将汽体拘束于泵内。a.利用水解呼吸功效,b.利用物理学吸咐和有机化学吸咐功效。
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inficon电容器塑料薄膜真空计规定准确测量电源电路功能损耗低、易集成化,充分考虑分布电容和干扰信号及温度的危害,准确准确测量inficon电容器塑料薄膜真空泵规管的细微电容器是一个难点。感压塑料薄膜上的电级各自与固定不动电级、参照电级组成比较敏感电容器和参照电容器,伺服驱动器电级坐落于感压塑料薄膜下边,
根据增加静电力使感压塑料薄膜在准确测量真空值的历程中处在一个明确的部位,进而完成宽标准的动态性压力测量。当被测压力为p时,使得感压塑料薄膜处在平衡状态,则增加在感压塑料薄膜上的企业范围的静电力Fe应当工作压力p相同,静电力均衡式inficon电容器塑料薄膜真空泵规管框架图当伺服驱动器工作电压为VS时,塑料薄膜上受到的静电力Fe为:式中:ε0为真内腔室的相对介电常数;d是伺服驱动器电级与塑料薄膜间的间距。
由式(2)、式(3)得伺服驱动器工作电压与工作压力p的影响为:静电力均衡式inficon电容器塑料薄膜真空计的信号分析电源电路由微电容器准确测量电源电路和静电力控制电路构成。在其中,微电容器准确测量电源电路用于对比较敏感电容器的变化量准确测量获得工作压力数据信号,而静电力控制电路用于造成伺服驱动器工作电压。
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