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DL-10A的校准曲线如下所示：▲DL-10A校准曲线横坐标是中国计量院科学院测量标准值，气样是氮气。纵坐标是DL-10A显示值。DL-10A的下限决定于Z0随时间漂移带来的误差。它主要决定于晶振的结构以及环境温度的变化。PART 02石英真空计性能

●石英真空计的精度较高，用音叉结构的晶振安装在稳定温度的金属柱上，在0.01Pa~105Pa之间测量误差为±10%。在真空计上限附近，即接近大气压经过调整后误差较小可做到3%。随着压强的减小，误差会增大。在真空计的下限误差较大。

▲DL-10A在中国计量科学院校准氮气结果

●石英真空计读数与气体种类有关，不同气体的相对压强读数也不同。下图采用的基准气体为氮气，测量不同气体时，应对该气体进行修正。▲不同气体的压强读数

●环境温度的变化会影响石英真空计的读数，在高压强不会引起很大误差，但在接近下限，会引起很大的误差。这主要体现在晶体的固有阻抗Z0随温度变化。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空计的校准

现如今，真空在大家日常生活中被广泛运用于大气商品的生产制造及制造，而且起着关键人物角色。例如：在科学研究，工业生产步骤，手机处理器，电脑硬盘，太阳能充电电池，塑胶干躁或是食品类真空包裝等行业。在如今的制造运动中，大家对真空度测量的性、规范化、稳定性和重复的标准是极为重要的。在我们在开展测量的情况下，高精密又是重要中的关键：

精密度的大小会立即影响到设备的制造品质，科学试验的性和设施运用的稳定性。要保证真空计应用时的可靠性高，就务必常常对它开展校准或校准。而依据每一个不一样运用的主要规定，这种校准工作中务必合乎中国或相应的国际性的规范。经济发展、合理、、化的组织校准及校准取代解决方法；生产制造运动中，真空计通常必须对外开放主管机关开展校准和校准。

校准规定

在开展校准前，务必达到如下所示标准：

■系统软件限工作压力ρE务必超出不大校准工作压力ρmin的50倍

(ρE≤ρmin/50)

■工作温度务必稳定(±1°C)

■校准系统软件务必热平稳

■规范真空计和别的真空计在检测时真空度务必平稳

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热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计，其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取，因而，经常在规范自然环境情况下，用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。在一定的加温电流量情况下，适用DL-3型规管的热偶真空计对干躁气体的校准曲线如下图4-9和图4-10所显示。

DL-3型热偶真空计的校准曲线(10～10-1Pa)图4-10DL-3型热偶真空计的校准曲线(102～10Pa)由图4-10可以看出，当工作压力从0.1MPa逐渐逐步减少(图上未画出)的一段工作压力区域内，热偶电势差E一直在零值周边，其根本原因是气体分子结构多，传输走的卡路里多，因此热丝温度低，热偶电势差E亦低，并且这时(λ≤r1)导热与工作压力不相干，故热偶电势差E不转变(小量转变是气体热对流造成的)。

当气体压力至102Pa时，热偶电势差E逐渐扩大，这也是因为这时气体传输走的发热量降低，热丝温度已上升。当工作压力p再次下降时，热偶电势差再次扩大，可是愈来愈迟缓，很后趋向一定值。自此，p再减少，E不会再转变，即热偶真空计已做到其准确测量限，这一限为其准确测量低值，约为10-1Pa。为了更好地应用上的便捷，通常依照p—E校准曲线将微伏计的标尺改为真空值。用那样标尺的真空计准确测量时，可立即读取真空值，从此不用依据测定的p-E校准曲线查被测真空值。

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