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江门爱德华二手泵-广州潽拓光电科技

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     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修


爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。





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  爱德华 Edwards  ext200/200/30 Agilent 80c真空分子泵,二手分子泵维修



dwards EXT200/200/30 Turbo Pump 对应Agilent  Code: 8756-10-100,


Edwards EXT200/200/30 具备三个抽气口,分别对应200L/s, 200L/s及30L/s 

一台真空分子泵可以为安捷伦质谱仪提供三个高真空





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