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涡轮分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(MVP015-2)组成。这款泵组的抽速 很高可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hPa。不锈钢腔体上有六个真空计连接口。如果客户要求，两个参考标准(1hPa和1,000hPa)和一个冷阴极真空计能够预装在这套系统中。比如，压力控制和归零调整的预装。

所有的真空计都进行了预校准并且符合德国认证机构(German:DeutscheAkkreditierungsstelle–DAkkS)的标准。这就使得校准真空计可以被有效的实施并且符合法律和规范要求，并且这个标准是一个国际化上认可的标准。此外， 很多四台真空计能安装在不锈钢腔体上同时进行校准。

装置内要求6台相接的真空计要求的真空度相同，谱拓认为这就需要在校准的时候，用独立的进气阀来设定并且控制真空度。

涡轮分子泵(英简:turbopumps,TMP)是由多级的，涡轮状带叶片的转子通过一个无刷直流电机驱动复合轴承构成。在转子叶片之间，有一个定子叶片，定子叶片结构与转子相似，但与转子成镜像安装。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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回顾便携式真空计校准装置的研发历程，为了保证校准装置的灵活使用，以实现在线校准的初心为牵引，真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用，要保证“尺子”体积足够小、方便携带。

研发人员采用模块化、集成化设计，通过机械设计和硬件结构的不断升级，相较于初代产品结构更加紧凑，使用更为方便；设计为箱体式结构，更好地保护装置本体和标准器，实现长途携带，便于在实验室和现场校准使用。目前，很新代该装置体积约500mm×500mm×850mm。

▲科研人员使用便携式真空计校准装置

第二为了使装置功能强，能够校准不同种类的真空计，要保证装置量程足够宽、精度高。研发人员采用多种计量方法，将静态比较法、动态比较法、动态流量法等集成在一起。由于各种方法的原理、结构均不相同，甚至可能相互干涉，研发人员不断反复地进行迭代试验，创新性地将它们设计组合在一起，实现宽量程、高精度的校准。

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气体类型对热偶真空计的危害热偶真空计对不一样气体的测定結果是不一样的，这也是因为不一样气体分子结构的传热系数不一样引发的。但各种各样气体的p-E校准曲线样子都相似，因而，在准确测量不一样气体的负担时，可依据干躁气体(或氢气)标尺的工作压力读值，再乘于相对应的被测气体相对度，就可获得该气体的真实工作压力，

即通常以干躁气体(或氢气)的相对度为1，别的一些较常用的气体和水蒸气的相对度如表4-2所显示。相对度说明了气体导热的特性。从表得知，针对气体分子结构中具备同样原子数的气体或蒸汽，其相对度Sr随相对分子质量的增加而扩大。表4-2一些气体与蒸汽的相对度

热偶规管加温电流量的明确因为生产制造热偶规管常用的原料及加工工艺等缘故，每一个规管的加温电流量均不同样；在应用历程中也会因为规管“衰老”促使加温电流量增大；除此之外，不一样检测范围的加温电流量也是有差别。因而，在应用热偶记时，应按不一样的测量范围明确规管的加温电流量。

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