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inficon电容薄膜真空计作为inficon电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。inficon电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。

inficon电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。inficon电容薄膜真空规管的敏感电容具有不同结构，包括单侧电极结构、双侧电极结构以及静电力平衡结构，不同结构的敏感电容其电容变化量不同。另外，inficon电容薄膜真空计要求测量电路功耗低、易集成，考虑到寄生电容和电磁干扰及温度的影响，准确测量inficon电容薄膜真空规管的微小电容是一个难题。

针对不同结构的敏感电容，提出了多种微小电容测量方法。1.单侧电极微小电容测量敏感电容为单侧电极的inficon电容薄膜真空规管结构简单，在inficon制造及封装工艺下易于实现。如图1所示，感压薄膜上的电极与硅基底上的电极组成了一个随真空度变化而变化的敏感电容。由于只存在单一的敏感电容，测量电路中往往需要引入一电容值与敏感电容初值相等的固值参考电容。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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inficon技术：（1）从微机电系统（inficon）发展到纳机电系统（NEMS）的启示；（2）inficon加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器技术及应用；（3）光学传感器和气体传感器技术及应用；（4）inficon谐振器和振荡器技术及应用；（5）inficon制造工艺；（6）inficon封装技术；（7）inficon产线参观学习：苏州inficon中试平台和捷研芯量产封装产线。 

上世纪50年代，D.J.Pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管（电子管）做电路，其一侧与晶振构成Pierce-Miller振荡器，晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时，阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105Pa到13.3Pa的压强。

到了20世纪80年代，M.Ono等人设计了测量范围从1.33Pa到大于105Pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构，长2.66mm，宽0.3mm，厚0.13mm，谐振频率为32768Hz。仪器采用位相锁定环路，（phaselookedloop）使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限，经过对石英晶振结构的研究，选用10mm长的晶振做成0.133Pa~105Pa测量范围的真空计。

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其稳固的工业产品设计可以合理抵挡机械设备负载。并保证稳定的图象处理，照相机装有4路带脉冲宽度调制作用的光电耦合器輸出，功率达到120W（大48V/25A），因而不用外界控制板便可同时操纵灯源，照相机还能够选装已获的维护防水套管系统软件。防水等级可达IP65或IP67，不用一切外界保护罩，依靠根据IEEE1588规范的時间协议书（PTP）。

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