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广州潽拓光电科技-瓦里安进口分子泵维修厂家

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广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安进口分子泵

美国Agilent TwisTorr 304 FS涡轮分子泵维修


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尽量避免频繁启停分子泵在匀速工作时,转子叶片仅受到离心力的作用(真空下阻力很小可以忽略不计),即远离轴心的方向的拉力;而在加速和减速的时候,叶片还受到转动切线方向的力,相当于对叶片进行弯折的力。显而易见,对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。

另外,分子泵在加速时功率较大,内部发热比较严重,频繁的启停(两次启动间隔<30 分钟)会造成热量累积,使分子泵内部的温度过高,加剧轴承磨损。



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TV 301导航器不含污染物,因此适用于需要“清洁”真空的应用。它配备有辅助连接器,以提供一个附加的风扇,以控制排气阀,该风扇通过通过串行线(RS232或RS485)连接的主机从远程站点进行控制。TV 301 Tubro泵有四种型号,仅高真空法兰有所不同。该泵由一个高频电动机组成,该电动机驱动装有8个叶片级和3个Macrotorr级的涡轮机。从高真空法兰端看时,涡轮沿逆时针方向旋转。该涡轮机由高强度铝合金制成,并由一个整体加工而成。Macrotorr阶段为四个光盘的形式。涡轮转子由永jiu润滑的高精度陶瓷球轴承支撑,该轴承安装在泵的前排侧。定子的静叶片由不锈钢制成。这些由垫片环支撑并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的机加工盘形式,具有泵送通道和受相应转子盘限制的开口。这些由铝合金制成。



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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差,例如氢气,其压缩比仅有103 。




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电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。



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振动频率为60%-100%工作转速,或者是密封间隙过大,护圈松动,密封磨损

处理方法:检查、调整或更换密封;

振动频率为2倍工作转速,不对中,联轴器松动,密封装置摩擦,壳体变形,轴承损坏,支承共振,推力轴承损坏,轴弯曲,不良的配合

处理方法:检查,采取相应措施,修理、调整或更换;