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在润滑方面,配备一种新型润滑剂,具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性,进一步提升真空泵组的安全性能,而且各款泵均可免维护运行5年。涡轮分子泵应用于镀膜机涡轮分子泵应用于镀膜生产线,客户某透明玻璃投射电容技术元件及模组生厂商,产品玻璃触控模组,广泛应用于智能手机中.爱发科涡轮分子泵1500U配置于该企业镀膜生产线中.
涡轮分子泵1500U技术参数
压缩比
Ar:>1X108
H2:6X103
He:2X105
N2:>1X108
抽速
Ar:1350l/s
H2:1150l/s
He:1350l/s
N2:1400l/s
进气口
DN250-ISO-K
极限真空重量
29KG
涡轮分子泵1500U抽速:涡轮分子泵1500对各种气体均有高抽吸能力,高工艺适用性,防止进入颗粒.集成驱动电路,适用于工业环境,通过保护等级IP54.带有气体密封阀24VDC的集成型气体密封系统.涡轮分子泵1500搭配控制器TC1200,通讯接口RS-485,远程遥控(Profibus/DeviceNet型号供选择),多种配件供客户选择.
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噪音测试通过在以下12种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168次测量得到的平均噪音为41dB(A)+/-3σ。包装测试通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能,在测试时,使带包装的泵从96厘米/37.8英寸的高度以各种角度跌落18次。确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。
无论从科技或是经济发展的角度来看,重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大数据、物联网等新兴技术的发展源源不断地给半导体行业注入崭新活力。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学,在半导体行业有着广泛的应用。其中,分子泵作为很多半导体制造设备的零部件之一,广泛应用于IC生产制造的各个工艺。
下面小编就带您走进半导体产业链,并一起探索分子泵在半导体行业的应用。半导体产业链包括上游的半导体支撑产业,中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备,其中真空产品主要在半导体设备领域应用;中游半导体制造的是集成电路制造,包括IC设计、IC制造以及IC封测;下游的半导体应用领域众多,半导体应用领域的行业是通信及智能手机、PC/平板、工业/。
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近日,真空推出了一款新型涡轮分子泵,便是对此交出的一份答卷。这款分子泵的寿命更长,而且采用了该公司开发的一项技术,使得真空设备更加耐用,振动水平更低,噪音更小。真空的涡轮分子泵.具体来讲,通过分配几何确定的动平衡孔和渐近的动平衡配重法,利用激光烧蚀把多余的材料去除,如此一来,转子的不均匀质量分布能够在所有点位逐个进行的处理,来达到很佳的动平衡性。
与传统动平衡相比,用激光去除材料要准确得多,剩余不平衡会更低。而且在这个过程中,材料特性并不会受到影响。可以说,改变了传统的动平衡过程,将不均匀的质量分布降到了很低。采用传统动平衡(左)和采用激光烧蚀段的激光动平衡(右)动平衡等级对比.据了解,通过现代化的自动平衡系统,涡轮分子泵转子的动平衡品质提高了20%,从而大幅提高转子寿命,并降低泵在运行期间的振动和噪音水平。
值得一提的是,激光烧蚀产生的颗粒,在加工过程中即可抽出和过滤掉,随后对激光平衡后的转子进行清洁,由于无需手动拧紧螺丝,所以确保了表面的很高清洁度,并且也避免了平衡孔中的气穴造成的虚漏现象。因此,用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求,尤其是在需要更低振动和静音的应用中,该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。
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