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在真空的世界里,也有一对不离不弃的“超级情侣”。我们习惯称这对超级伴侣为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和极限真空,并且可以持续的无故障长时间运行,高真空泵极限真空极高,只有分子泵才能有此能力。前级泵和分子泵相生相伴,在电子显微镜、质谱以及领域做出了的贡献,推动了科学仪器行业的飞速发展。
为什么分子泵和前级泵是天作之合?分子泵需要配置前级泵, 而不是直接在大气压下工作. 我们都知道涡轮分子泵必须在分子流状态下工作才能显示出它的优越性。分子泵输送气体应满足两个必要条件:1涡轮分子泵必须在分子流状态下工作;2分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高,对提高分子泵的抽速越有利;
在纯粹涡轮分子泵的情况下, 由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5~10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽,如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏,这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
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脉冲激光沉积系统PLD客户案例:某大学电信系脉冲激光沉积系统
1.系统功能:主要用于Mn氧化物等复杂材料膜。
2.涡轮分子泵真空度要求:真空度
3.样品尺寸:6英寸
4.基片旋转,加热温度:750℃
5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式
真空系统配置:超高真空系统配置:涡轮分子泵400
接口:DN100CF-F
极限真空:
氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80
接口:DN63CF-F
极限真空:
氮气压缩比:>1X1011隔膜泵MVP040
口径:G1/4”
极限真空:≦5mbar
抽速:2.3m3/h
涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>
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传统的产品设计和开发过程,常被当作是研制产品的一个步骤,因为产品的设计者不可能对上市时间、质量与可靠性、生产成本、售后及易维护性等全盘掌握,使用传统过程设计的产品在投入生产时不可避免地需要进行反复修改。产品生命周期设计方法通过提议、调查、实验室原型、生产原型、试运行和量产六个步骤来推动和设计过程,
在这些设计过程推进时,采用各种各样的测试和多个部门参与的交互式讨论和分析来决定产品设计方案和方向,而这其中的关键就是各种测试。为了验证各种不同的设计,执行了远超行业标准的大量测试,在量产之前陆续生产了多达1000余台样泵,对各项结构和功能参数进行测试和分析,很终产品定型时,仅选用了结果很佳的结构和方案。
扩展测试
寿命测试在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试(长时间暴露于加速损坏的条件下),对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。
冲击测试对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试,证明泵的抗冲击性。每个泵受到30–120g的加速度,相当于从82厘米/32英寸高跌落(处于非运行状态的泵)和从15厘米/6英寸高跌落(处于运行状态的泵)。
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