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静电力平衡式微电容测量法适用于静电力平衡式inficon电容薄膜真空计，电路为闭环结构，包括微电容测量电路和静电力控制回路，其中静电力控制回路用来产生平衡感压薄膜的静电力，对系统的测量性能有着至关重要的影响，该方法在保证真空计高准确度测量的同时还能拓宽其动态测量范围。

inficon电容薄膜真空计用于真空测量，要求在较宽的压力测量范围内能测得较小的压力变化量，同时需要满足深空探测、临近空间探测以及空气动力学实验等活动中测量仪器小型化的要求，所以测量电路应该在满足测量要求的前提下尽可能实现集成化、小型化、功耗低。因此，针对不同电极结构的inficon电容薄膜真空计微电容测量电路应朝着易于集成、小型化的方向发展。

由于基于开关电容法的微电容测量电路易于集成，而静电平衡结构的微电容测量法有拓宽动态测量范围的优势，因此基于两者结合的微电容测量电路有望实现对inficon电容薄膜真空计整体测量性能的提升。另外，随着人工智能以及物联网的发展，inficon电容薄膜真空计的应用范围已经从航空航天等领域向大众化领域拓展，这使得其需求量变大，种类更多，考虑到市场的研发时间成本，研发和设计能满足不同类型的inficon电容薄膜真空计的电路是接下来inficon电容薄膜真空计微小电容测量电路的主要发展方向。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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inficon真空泵系列产品空气流速准确测量真空计再添新式号，选用模拟信号輸出，为准确并可靠的传输数据服务保障。20很多年来，inficon真空泵凭着数显式空气流速准确测量真空计为空气流速准确测量给予整套计划方案，这款型号规格根据模块化可以适用一切工业生产真空泵运用，它所配置的真空泵规也便于安裝，可以实现靠谱的空气流速准确测量。

因为很多真空泵运用仅可在一定的工作压力区域内开展，因此可以准确且安全性地准确测量空气流速在具体运用中十分关键。系列产品合理准确测量并操纵超滤装置中的空气流速，全新升级加上的数显式数据信号輸出作用，可以让其完成高精密且可靠的传输数据。与模拟测量法对比，可以高质量准确无误地传送用以过程控制和记载的测定数据信息，获得更为准确的結果。

系列产品产品配置M12插连接头，使该真空计即使在苛刻加工工艺自然环境中也可应用。真空泵规还可与HiPace@涡轮增压分子泵和inficon真空泵别的产品一起在网络通信中运作。在零配件层面，已经有Profibus-DP、DeviceNet或带2个电源开关点和一个LCD显示器的额外模拟输出机器设备可选择。

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