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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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inficon真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。谱拓认为这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合人体工学标准的特点。



校准要求

在进行校准前,必须满足如下条件:

■系统极限压力ρE必须超过 很小校准压力ρmin的50倍

(ρE≤ρmin/50)

■环境温度必须恒定(±1°C)

■校准系统必须热稳定

■标准真空计和其他真空计在测量时真空度必须稳定



inficon真空解决方案

inficon真空提供了一套紧凑、便携的泵组用于校准。这套泵组由一套涡轮分子泵组(例如,HiCube80Eco)和一个采用玻璃珍珠喷沙工艺的不锈钢腔体组成。

涡轮分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(MVP015-2)组成。这款泵组的抽速 很高可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hPa。

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▲DL-10A谐振阻抗测量电路

近似地谐振阻抗Z为:Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE两点间的电压,VDE是DE两点间的电压。测量了阻抗,由阻抗与气体压强的关系曲线,便可知道气体的压强。例如,DL-10A型石英真空计采用FC135晶振做传感器,其阻抗与压强的关系如下所示:▲FC135晶振谐振阻抗与压强的关系



图中纵坐标△Z是谐振阻抗Z与固有阻抗Z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3Pa的阻抗。横坐标是压强,由图可见,在压强小于100Pa,△Z与P近似成线性关系。在104-105Pa之间,△Z与P的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中,测量△Z值,由数码管显示对应的压强值,这就是石英真空计的工作原理。



DL-10A设置一个零点调节按键,当压强小于10-3Pa时,按一下该按键,单片机执行中断程序,将此时的Z值存在单片机的EEPROM中。DL-10A还设置一个大气调节按键,当传感器暴露在大气时,按一下该按键,单片机执行另一中断程序,将此时的Z值存在单片机的另一EEPROM中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时,应进行零点调节及大气调节。

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为解决持续变动的市场的需求,该系列产品非常近新增加了大量选零配件。先前,该系列产品真空泵规仅配置RS-485插口,而如今,还装有工业生产千兆以太网Profinet和EtherCAT。与传统式计算机接口对比,他们具备数据信息传输速度极高、连接机器设备显着大量的优势,因此可以协助公司加快完成工业生产4.0总体目标。ProfiNet和EtherCat插口除此之外,除开先前选用模拟输出的版本号,现还装有电容传感器真空泵规CCT。



该真空计有着不会受到汽体类型危害和测量精度高的优点,并可用以表层的镀膜全过程的准确过程控制、低温干燥或校正试验室。电容传感器真空泵规CCT靠谱的瓷器技术性元器件具备良好的有机化学耐心和非常低的零点误差。现阶段,有温度补偿型和45℃加温型二种规格型号可挑选 。



电容传感器真空泵规CCT超滤装置或是机械泵调节时常常必须查询机械泵的真空值,每一个调试工程师都期待有一款便携式精巧而且结实耐用的真空计。为达到这类要求,inficon公布了一款携带式的真空计套服inficon。现阶段正限营销,价税合计5000元套。套服包含:数字万用表尺寸的便携式控制板,根据可伸缩式铜线联接的真空泵规管,也有便捷带上的迷你型行里箱。

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