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由于许多真空应用仅可在一定的压力范围内进行，所以能够准确且安全地测量总压在实际应用中十分重要。系列有效测量并控制真空系统中的总压，全新添加的数字式信号输出功能，可以让其实现高精度且的数据传输。与模拟测量方法相比，能够无损无误地传递用于过程控制和记录的测量数据，得到更加准确的结果。

系列产品配备M12插接头，使该真空计即使在严苛工艺环境中也可使用。真空规还可与HiPace@涡轮分子泵和inficon真空其他产品一起在通信网络中运行。在配件方面，现已有Profibus-DP、DeviceNet或带两个开关点和一个LCD显示器的附加模拟输出设备可供选择

为应对不断变化的市场需求，该系列 很近新增了更多选配件。

此前，该系列真空规仅配备RS-485接口，而现在，还配有工业以太网接口Profinet和EtherCAT。与传统现场总线相比，它们具有数据传输速率极高、接入设备显著更多的优点，因而能够帮助企业加速实现工业4.0目标。ProfiNet和EtherCat接口此外，除了此前采用模拟输出的版本，现还配有电容式真空规CCT。该真空计拥有不受气体种类影响和测量精度高的优势，并可用于镀膜过程的准确过程控制、冷冻干燥或校准实验室。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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.inficon真空计的特点？答：inficon真空计是一种真空计，可以给出被测压力的值。但inficon计只能测量被测气体中性气体的分压强，不能测量其中可凝性气体的压强。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么？答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时，就不能反映压力的变化了，即达到了测量的下限。

谱拓科技唯实致力于提供的真空控制、检测仪器、光机电一体化设备，以的产品和服务为客户创造价值。以技术创新为手段，以产品专门化、规模化生产为基础，努力发展成为国内仪器设备，特别是在真空领域具有竞争力的生产、服务型企业。作为现代高新技术企业，

谱拓科技唯实以创新、诚信、有效为价值观，在稳固、发展现有产品的基础上，大力发展真空产品，逐步形成“以现有产品为基础，以真空产品为未来”的发展格局。热忱欢迎国内外各界人士前来洽谈，开展各种形式的合作和交流，为发展科技事业和国民经济作出更大的贡献。· 

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不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。①10～10-1Pa量程：规管须垂直倒置，在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV，即满刻度)，其加热电流可调节范围为95～150mA。②102～10Pa量程：规管须垂直倒置，在0.1MPa时调定加热电流，其加热电流可调节范围为175～300mA或以上。

热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些，但p-E校准曲线受外界温度的影响较小。 MEMS传感器具有小型化、低成本、、易与CMOS集成电路兼容等特点。在不同类型的MEMS传感器中， 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比，电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。

MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。MEMS电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。MEMS电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。

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