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为了校准装置的后续发展,具备更多功能,要保证装置具有拓展功能接口。研发人员采用在装置中预留通用真空接口的方式,方便后续产品组合,拓展新的功能,如拓展漏孔校准、检漏等功能。通过真空事业部多年来的不断攻坚克难,大胆创新,目前研制成功的便携式真空计校准装置在设备外观、客户界面及操作使用上更加美观合理,具备体积小、易携带,不受环境、空间等因素影响,随时随地都可进行校准使用,
同时还具备拓展功能接口,便于拓展漏孔校准、检漏等功能,解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题,实现了现场真空计的准确校准。使用便携式真空计校准装置“小尺子”都出现在什么地方?便携式真空计校准装置自研制代至今,近几年来,产品得到国内外30多家单位的应用。
“小尺子”发挥着“大作用”,在嫦娥系列月球探测器、火星探测器、空间站、北斗导航等重大航天型号任务的研制试验及发射中得到了极大应用;在芯片、行波管、高大上电气、真空器件、高精度时钟、电池等生产过程/生产设备的定期校准中也发挥着重要作用;同时,在航空发动机、火箭、等的试验与生产,特种钢材冶炼、高纯度气体制备、装备生产现场都曾出现便携式真空计校准装置的小身影。
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由于许多真空应用仅可在一定的压力范围内进行,所以能够准确且安全地测量总压在实际应用中十分重要。系列有效测量并控制真空系统中的总压,全新添加的数字式信号输出功能,可以让其实现高精度且的数据传输。与模拟测量方法相比,能够无损无误地传递用于过程控制和记录的测量数据,得到更加准确的结果。
系列产品配备M12插接头,使该真空计即使在严苛工艺环境中也可使用。真空规还可与HiPace@涡轮分子泵和inficon真空其他产品一起在通信网络中运行。在配件方面,现已有Profibus-DP、DeviceNet或带两个开关点和一个LCD显示器的附加模拟输出设备可供选择
为应对不断变化的市场需求,该系列 很近新增了更多选配件。
此前,该系列真空规仅配备RS-485接口,而现在,还配有工业以太网接口Profinet和EtherCAT。与传统现场总线相比,它们具有数据传输速率极高、接入设备显著更多的优点,因而能够帮助企业加速实现工业4.0目标。ProfiNet和EtherCat接口此外,除了此前采用模拟输出的版本,现还配有电容式真空规CCT。该真空计拥有不受气体种类影响和测量精度高的优势,并可用于镀膜过程的准确过程控制、冷冻干燥或校准实验室。
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真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示,气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。
热电偶真空计的构造图金属圆筒内部设有一根灯丝,两端连接电极,通电后灯丝会发热。灯丝的热量会通过气体分子碰撞灯丝、热辐射和固体热传导等方式被夺走。设单位时间内以上述三种方式夺走的热量分别为Qg、Qr、Qs,则平衡状态下以下公式成立:式中Q———单位时间灯丝放出的热量;R———灯丝的电阻;I———灯丝的电流。
气体的平均自由程比灯丝的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为式中α———适当常数;Λ———分子的热传导率;d———灯丝直径;a———灯丝长度;T———灯丝温度;T0———金属圆筒的温度;p———气体压强。Qs和Qr可以分别表示为式(4-8)代表电极的热传导,其中S是灯丝的断面积,κ是固体的热传导率,L是电极的长度。式(4-9)代表热辐射,σ和ε分别是玻尔兹曼常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则式(4-8)和式(4-9)为常数。
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