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真空计的分类及原理

真空计（VacuumGauge）,又称真空规，是测量真空度或气压的仪器。一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能，利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计。

利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和电热偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

1、波尔登规（Bourdon）2、薄膜电容规3、皮拉尼规4、热电偶规5、热阴极电离规6、冷阴极电离规

真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示，气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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DL-10A的校准曲线如下所示：▲DL-10A校准曲线横坐标是中国计量院科学院测量标准值，气样是氮气。纵坐标是DL-10A显示值。DL-10A的下限决定于Z0随时间漂移带来的误差。它主要决定于晶振的结构以及环境温度的变化。PART 02石英真空计性能

●石英真空计的精度较高，用音叉结构的晶振安装在稳定温度的金属柱上，在0.01Pa~105Pa之间测量误差为±10%。在真空计上限附近，即接近大气压经过调整后误差较小可做到3%。随着压强的减小，误差会增大。在真空计的下限误差较大。

▲DL-10A在中国计量科学院校准氮气结果

●石英真空计读数与气体种类有关，不同气体的相对压强读数也不同。下图采用的基准气体为氮气，测量不同气体时，应对该气体进行修正。▲不同气体的压强读数

●环境温度的变化会影响石英真空计的读数，在高压强不会引起很大误差，但在接近下限，会引起很大的误差。这主要体现在晶体的固有阻抗Z0随温度变化。

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火星携带式真空计校准装置

真空计校准装置怎样完成“小直尺”充分发挥“大功效”？

回望携带式真空计校准装置的产品研发过程，为了确保校准装置的灵巧应用，以完成线上校准的初衷为牵引带，真空事业部商品研发人员在早期技术性累积基本上，进行集智科技攻关，提升了诸多技术性困难。为了更好地达到不一样室内空间、不一样自然环境的灵巧应用，要确保“直尺”容积充足小、便捷带上。

研发人员选用模块化设计、一体化设计方案，根据机械结构设计和硬件配置构造的持续更新，相比于初代产品构造更为紧密，应用更加便捷；设计方案为壳体式构造，能够更好地维护装置本身和规范器，完成远途带上，有利于在试验室和当场校准应用。现阶段，很新代该装置容积约500mm×500mm×850mm。

火星科技人员应用携带式真空计校准装置

为了更好地校准装置的后期发展趋势，具有更多用途，要确保装置具备扩展作用插口。研发人员选用在装置中预埋通用性真空插口的方法，便捷后面产品组合策略，扩展新的作用，如扩展标准孔板校准、测漏等作用。根据真空事业部很多年来的持续克难攻坚，胆大自主创新，现阶段研制的携带式真空计校准装置在机器设备外型、顾客页面及实际操作应用上更为美观大方有效，具有体型小、易带上，不会受到自然环境、室内空间等原因危害，随时都可以开展校准应用，

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