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PID控制算法简单、鲁棒性好、可靠性高，在静电力反馈微传感器中应用广泛。PID控制器中的比例作用可以及时反映系统的误差信号，并减小系统偏差；积分作用可以消除稳态误差，实现对设定值的无静态跟踪；微分作用可以改善系统的响应速度和稳定性。通过正确地设置PID控制器的参数，就可以使其满足静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的测量要求。

根据对inficon电容薄膜真空计的微电容测量方法的分析，可以看出，针对不同结构的敏感电容，存在不同的测量方法。单侧电极微电容测量法电路结构简单，易于实现，适用于敏感电容初值较大且电容变化量也较大的场合。在测量的过程中，可以引入一个电容值与敏感电容初值相等的参考电容来构成差分测量电路，从而在一定程度上消除寄生电容的影响，提高系统的线性度。

双侧电极微电容测量法适用于敏感电容为差动结构且初值及变化量都很小的场合，其电路通常包含开关电容电路以及时钟电路，这就使得电路结构比较复杂，但在双侧电极微电容测量法中，传感器与检测电路构成了双差动结构，从而能抑制测量过程中的噪声、减小寄生电容的影响，具有较高的电源抑制比及共模抑制比。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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国内在90年代也有人研制了石英真空计，所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡，自跟踪电路。测量范围为0.1Pa~2×105Pa。 很近我们研制的DL-10A型石英真空计采用FC135晶振，测量范围为5×10-1~105Pa。目前已有石英真空计产品，

例如：CC-10真空计测量范围是1.33×10-2Pa到大气压，M-320XG晶振真空计测量范围是1X10-1Pa到大气压，DL-10A型石英真空计测量范围是5X10-1Pa到大气压。其优点为：传感器体积小，耗电功率小（约1W），精度较高（约10%），量程较宽（10-1~105Pa）等。

PART 01工作原理

石英晶振在谐振时，其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关，二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高，但测量范围较窄，它可以用作标准真空计或应用于要求精度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽，可达0.1-105Pa，适合做工作用真空计。晶振在谐振时，同时自身也存在机械振动，振动时将受气体阻力，阻力的大小与气体压强有关，因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。

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为了更好地使装置作用强，可以校准不一样品种的真空计，要确保装置测量范围充足宽、高精度。研发人员选用多种多样计量检定方式，将静态数据比较分析法、动态性比较分析法、动态性总流量法等集成化在一起。因为各种各样方式 的基本原理、构造均不同样，乃至很有可能互相干预，研发人员持续重复地完成梯度下降法实验，创新能力地将他们设计方案组成在一起，完成宽测量范围、高精密的校准。

与此同时还具有扩展作用插口，有利于扩展标准孔板校准、测漏等作用，解决了一直以来真空校准装置沉重没法带上到当场只有在试验室校准的瓶颈问题，完成了当场真空计的准确校准。应用携带式真空计校准装置“小直尺”都发生在哪儿？携带式真空计校准装置自研发代迄今，近年来，商品获得30好几家企业的运用。“小直尺”充分发挥着“大功效”，在嫦娥系列月球探测仪、火星探测器、空间站、北斗导航等重要航空航天型号规格工作的研发实验及发送中获得了巨大运用；

在处理芯片、行波管、大气电气设备、真空泵元器件、高精密时钟、充电电池等生产全过程/生产机器设备的定时校正中也激发着关键功效；与此同时，在飞机发动机、、巡航等的实验与生产，特种钢材冶炼厂、高纯气体制备、装备生产当场都曾发生携带式真空计校正设备的小影子。高新科技要发展趋势，计量检定须优先。

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