广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦
分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。
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油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生,防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏
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广州潽拓Agilent安捷伦 TV401301涡轮分子泵维修
varian Turbo-V 301/401 Navigator 分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的泵。
Agilent TV301分子泵有四种规格,分别为:
Agilent TV 301 ISO100-K
Agilent TV301 ISO160-KAgilent TV301 Cf100
Agilent Varian TV301 CF160
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Agilent 1260 Infinity 脱气机 G4225A 型号,由四个单独的真空腔以及半渗透性管、真空泵和控制组件组成。打开真空脱气机的电源开关后,控制组件就会开启真空泵,真空泵可使真空腔内产生低压。其压力由压力传感器测定。通过控制空气入口过滤器漏率和使用压力传感器调节真空泵,真空脱气机可以保持低压状态。
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安捷伦真空:提供适合电子显微镜的全套真空产品安捷伦真空对电子显微镜之类的聚束系统真空应用有着非常丰富的经验,为了满足SEM、TEM系统高真空、低电磁噪声和低振动的要求,开发了一系列的产品。
安捷伦其他常见应用:
1.分析(质谱分析、电子显微镜等)
2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)
3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)
4.镀膜(表面保护,装饰涂料,显示器,屏幕)
5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)
6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊
7.研究实验(医学成像、核粒子物理,核聚变研究,激光应用和许多更多)
8.灯生产行业及相关