广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵控制器
抗振动测试 通过对一批泵(处于运行和非运行条件下)进行一系列测试,证明对外部源产生振动的耐受性。在 105 分钟的振动周期中,全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性,因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变,且泵不平衡性仍然远低于阈值。温度测试 将泵置于 –40 °C 至 +70 °C(处于非运行状态)以及 0 °C至 40 °C(处于运行状态)下暴露 86 小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证 11 次,结果显示仅存在的变异,远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。
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殊润滑剂润滑轴承
使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感,因为在高真空环境下,润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面,这些油脂类的蒸气会形成一种气源,影响系统的真空度和纯净度;另一方面,这些蒸气进入到真空腔体后,会冷凝附着在其它零件上,影响高真空系统内相关设备的工作。
TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的轴承,能够任意方向安装;并且,由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低,正常使用时几乎没有损耗,使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。
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振动分析 在制造过程中以及泵运输前的测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平:0.4 m/s2。噪音测试 通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试 通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能,在测试时,使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度,以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。
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分子泵控制器 “3D” 控制软件
早期的分子泵控制器又叫分子泵电源,其的功能是向分子泵供电;后来,改进型的控制器具备了一定的保护功能,可以监控分子泵的功率和温度,相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线,分子泵只能在这条线以下工作(2D),若超过这条线控制器就会报警停机。
与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到优性能的曲面上(3D),达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。
与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS,加上之前的 84FS 和 304FS,形成了一个完整的系列。
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除此之外,安捷伦真空可以提供各种抽速的涡旋干泵、各种类型的真空计、电磁噪声几乎为零的各种真空泵控制器等,另外,基于其在聚束系统广泛的知识和灵活的制造能力,还可以为特定系统定制特殊的离子泵,还可以为敏感的显微镜应用提供先进的振动模拟和测试。
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Agilent 1260 Infinity脱气机 G4225A 型号,由四个单独的真空腔以及半渗透性管、真空泵和控制组件组成。打开真空脱气机的电源开关后,控制组件就会开启真空泵,真空泵可使真空腔内产生低压。其压力由压力传感器测定。通过控制空气入口过滤器漏率和使用压力传感器调节真空泵,真空脱气机可以保持低压状态。
溶剂瓶中的溶剂在 LC 泵的抽动下流过真空腔内的半渗透性管。当溶剂流过真空腔时,溶剂中溶解的气体将渗过这些管,进入真空腔。当溶剂离开真空脱气机的出口时,就已经完成了脱气。