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增城OSAKA真空分子泵-广州潽拓光电科技

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
  • 公司地址:广州市番禺区化龙镇潭山环村公路1-1号
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广州潽拓光电科技有限公司——OSAKA真空分子泵

1950年成立的株式会社大阪真空机器制作所,主要以真空机器、真空泵的开发制造销售及售后服务为标准。其真空泵产品的种类和覆盖面十分全,包括涡轮分子泵、干式真空泵、罗茨真空泵、滑阀真空泵、液环真空泵、喷射泵、真空设备、真空系统等。



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大阪真空的业务领域,是通过真空泵以及相关技术·技能,为客户提供符合其先端生产工程、分析 、R&D等各个工作环节要求的真空系统。 这里对先端的定义、是指在开发新技术的同时,对原先的技术加以灵活运用,实现设备的高度利用、安定利用,从而提高设备的使用效率。



日本大阪分子泵TG-F系列的特点任意角度安装:360度任意角度安装,设备的角度可随意设计!

可以直接安装在真空腔体上,防止流导损失所导致的排气速度的减小。可靠耐用:使用了独自开发的轴承,耐大气冲击的构造!

另外,耐振动,可以避免由振动引起的泵的问题或繁琐操作。使用破空功能可迅速停止:通过打开破空阀,可以迅速停止泵。

※有些机型无此功能。迅速启动:启动快,待机时间短不需要维护:不需要补脂润滑,也不需要天天维护。

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大阪真空涡轮分子泵越来越多地用于现代半导体工业。 溅射、蚀刻、蒸发、注入、分子束外延和离子处理等设备都需要在真空环境中运行。 近十年来,国内外涡轮分子泵得到了显着的改进和发展。 在涡轮分子泵的应用日益增多的情况下,干式前级泵并没有得到广泛的推广和应用,有时不得不使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前级泵。 因此,针对这种情况,涡轮分子泵的合理选择和正确运行显得非常重要。


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大阪涡轮(复合)分子泵

用 途■小型实验设备的排气■装载室,搬送式排气■分析?测量仪器的排气■吸附?搬送■的排气■封装排气■电子,离子源的排气■干燥■溅射蒸镀等PVD设备排气■小型炉排气■分子泵等高真空泵的辅助泵







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分子泵输送气体应满足二个必要条件:1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度

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