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感压薄膜上的电极分别与固定电极、参考电极构成敏感电容和参考电容，伺服电极位于感压薄膜下方，通过施加静电力使感压薄膜在测量真空度的过程中处于一个确定的位置，从而实现宽范围的动态压力测量。当被测压力为p时，要使感压薄膜处于平衡状态，则施加在感压薄膜上的单位面积的静电力Fe应于压力p相等，

静电力平衡式inficon电容薄膜真空规管结构图当伺服电压为VS时，薄膜上所受的静电力Fe为：式中：ε0为真空腔室的介电常数；d是伺服电极与薄膜间的距离。由式（2）、式（3）得伺服电压与压力p的关系为：如图10所示，静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的信号处理电路由微电容测量电路和静电力控制回路组成。其中，微电容测量电路用来对敏感电容的变化量测量得到压力信号，而静电力控制回路用来产生伺服电压。

图10静电力平衡式inficon电容薄膜真空计测量电路结构图为了保证静电力平衡式inficon电容薄膜真空计具有高精度以及良好的稳定性，静电力控制回路须要产生准确稳定的静电力。通常采用PID控制器作为静电力控制回路中的静电力控制器。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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inficon真空泵系列产品空气流速准确测量真空计再添新式号，选用模拟信号輸出，为准确并可靠的传输数据服务保障。20很多年来，inficon真空泵凭着数显式空气流速准确测量真空计为空气流速准确测量给予整套计划方案，这款型号规格根据模块化可以适用一切工业生产真空泵运用，它所配置的真空泵规也便于安裝，可以实现靠谱的空气流速准确测量。

因为很多真空泵运用仅可在一定的工作压力区域内开展，因此可以准确且安全性地准确测量空气流速在具体运用中十分关键。系列产品合理准确测量并操纵超滤装置中的空气流速，全新升级加上的数显式数据信号輸出作用，可以让其完成高精密且可靠的传输数据。与模拟测量法对比，可以高质量准确无误地传送用以过程控制和记载的测定数据信息，获得更为准确的結果。

系列产品产品配置M12插连接头，使该真空计即使在苛刻加工工艺自然环境中也可应用。真空泵规还可与HiPace@涡轮增压分子泵和inficon真空泵别的产品一起在网络通信中运作。在零配件层面，已经有Profibus-DP、DeviceNet或带2个电源开关点和一个LCD显示器的额外模拟输出机器设备可选择。

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伴随着人工智能技术及其物联网技术的发展趋势，inficon电容塑料薄膜真空计的运用范畴早已从航天航空等高技术行业向通俗化行业扩展，这促使其需要量增大，类型大量，充分考虑销售市场的产品研发经济成本，产品研发和设计方案能达到不一样种类的inficon电容塑料薄膜真空计的电路是下面inficon电容塑料薄膜真空计细微电容测量电路的具体发展前景。

上世纪50时代，D.J.Pacey科学研究用石英晶振测量气体压强。他选用双三级管（整流管）做电路，其一侧与晶振组成Pierce-Miller震荡器，晶振放置被测汽体中作气体压强感应器。当气体压强转变时，阳极氧化电流量也随着转变。据悉该仪器设备能测105Pa到13.3Pa的气体压强。

中国在90时代也有些人研发了石英真空计，常用电路是以晶振自身为頻率液压控制系统的自震荡，自电路。测量范围为0.1Pa~2×105Pa。非常近大家研发的DL-10A型石英真空计选用FC135晶振，测量范围为5×10-1~105Pa。现阶段已经有石英真空计商品，例如：CC-10真空计测量范围是1.33×10-2Pa到大气压力，M-320XG晶振真空计测量范围是1X10-1Pa到大气压，DL-10A型石英真空计测量范围是5X10-1Pa到大气压力。其特点为：感应器体型小，耗电量输出功率小（约1W），精密度较高（约10%），测量范围较宽（10-1~105Pa）等。

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