广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦二手分子泵
气载、热气体、突变气载
a 引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效
b. 措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间7磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:
①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;
②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;
③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;
④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。
分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
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为什么要选择涡旋式无油干泵IDP-3?极低维护成本IDP-3的采购价格及维护包价格只是隔膜泵的一半更换操作快捷15分钟即可完成的密封条更换工作降低音频噪声—提高用户体验使用精密的测声计,并通过ISO标准进行测试:在操作人员位置的测试结果表明,IDP-3的噪声会小于油封式真空泵2dB
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采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑,并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比(特别是对小分子气体的高压缩比)可以带来更好的极限真空,而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵,从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。
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安捷伦真空(原瓦里安真空)是离子泵,赛斯是NEG吸气剂泵的始创者,两家公司有累计超过100年的真空经验。此次的吸气剂复合离子泵采用了各自的技术,两家公司充分的信任和紧密的合作促成了这一全新产品的问世,我们期待更多类似的合作,和更多让我们眼前一亮的产品。
安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动,保证好的轴
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安捷伦分子泵采用了新的悬浮技术AFS,悬浮转子,能够有限改善震动。AFS提供了超高精度,确保了轴承对准。同时径向静止设计,极大优化转子运动形态和降低噪音。安捷伦提供从TV84FS,TV304FS,TV551,TV701,TV1001,TV2300,TV3KG等不同抽速大小的分子泵,以满足客户不同的应用需求。
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安捷伦分子泵采用新的3级TwissTorr 拖动级技术,通过分子泵旋转盘面,提高气体分子动能,从而有效提高抽速和极高的压缩比。新的拖动级技术与上一代设计相比,功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,是目前市场上极限真空度好的干泵