德国Pfeiffer普发TMH521分子泵维修,Pfeiffer TMH521普发涡轮分子泵进气法兰口DN 100 ISO-K/DN 100 ISO-F/DN 160 ISO-K/DN 160 ISO-F，出气法兰口DN 25 ISO-KF，DN100ISO-K/DN 100ISO-F抽速可达到290L/s,DN160 ISO-K/DN 160 ISO-F抽速可达到510L/s，833HZ转速为50000 rpm，550HZ转速为33000 rpm，ji限真空5X10-10 mbar,对应的控制器为：Pfeiffer TC600等。
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