分子泵过流保护分为恒速运行中过流保护与加速中过流保护两种情况，应分别诊断:

1.恒速运行中过流保护可能情况:分子泵运行中负载突变检测方式及建议:
观察系统真空度变化过程;
若出现较明显变化(如10~-4Pa降至10~-1Pa)，则会出现过流保护情况。

2.加速中过流保护可能情况:系统漏气、真空度较差
检测方法及建议:
观察分子泵前级真空度是否优于10Pa;
用检漏仪对系统进行整机检漏，确保系统无漏;
确保系统漏率在允许范围内且前级优于10Pa后重启分子泵。