高真空泵主要包括以下几种类型‌：

1、分子泵‌：分子泵利用分子流状态下气体分子与泵内表面碰撞差异实现抽气，具有*限压力低、抽速快的特点，适用于高真空环境‌。

2、涡轮分子泵‌：涡轮分子泵依靠高速旋转的叶片实现气体的定向流动，具有较高的*限真空，通常在10^-9到10^-10mbar之间。涡轮分子泵需要前级真空泵配合使用，以避免气体冲击和共振造成的损坏‌。

3、机械泵‌：机械泵是常用的高真空泵之一，主要用于为涡轮分子泵提供前级真空。常见的机械泵包括涡旋干泵、隔膜泵和油密封机械泵。涡旋干泵使用简单且不会返油，但抽速和*限真空略差于油密封机械泵‌。

4、溅射离子泵‌：溅射离子泵利用潘宁放电产生的离子轰击阴*钛板，形成新鲜钛膜吸附气体。它具有*限真空好、无振动、无噪音、无污染等优点，广泛应用于超高真空系统‌。

5、‌扩散泵‌：扩散泵通过电加热器将工作介质加热成蒸汽，形成低密度、高速度的蒸汽射流，从而抽走气体。扩散泵适用于高真空领域，但需要预热时间且抽气速率较低‌。

这些高真空泵在不同领域有着广泛的应用，例如机械泵和涡轮分子泵在实验室和工业生产中常见，而溅射离子泵则广泛应用于超高真空系统‌