真空泵是一种通过不同原理将气体从封闭空间中排出,从而使空间中的气体压力得到降低的设备。真空泵在不同使用中具有不同的作用,分别有以下这些:
1、在系统中做主泵
所谓主泵便是对真空系统被抽容器直接停止抽真空,以契合工艺要求所需真空度的真空泵。
2、粗抽泵
粗抽泵是指从大气压初步失落真空系统压强到达另一抽气系统能够初步工作的真空泵。
3、前级泵
前级泵是指用于使另一个泵的前级压强保持在其前级压强以下的真空泵。
4、保持泵
保持泵是指认真空系统抽气很小时,不可以有用的使用重要前级泵。为此,在真空系统中另配一种抽气速率较小的协助前级泵来保持主泵的正常工作或保持已抽闲的容器所需的高压的真空泵。
5、粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指从大气初步,失落被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强领域内的真空泵。
6、高真空泵
高真空泵是指在高真空领域工作的真空泵。
7、超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空领域工作的真空泵。
8、增压泵
增压泵平日指工作在低真空泵和高真空泵之间,用以进步抽气系统在中心压强领域的抽宇量或失落前级泵抽气速度要求的真空泵。