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广州瑞士英福康真空计配件来电咨询 潽拓光电

2023-10-12







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该规管是全金属外壳,通过粗壮的可以热插拔的针脚连接控制器。规管可以单独替换,您也可以用一个控制器去测安装在不同位置的多个规管的读数。套装包含的规管为KF25接口,您还可以另外采购其它接口的规管, 很重要的是,inficon536规管非常的便宜。



迷你手提收纳箱:套装还包括一个带柔软垫层的手提收纳箱,方便运输、携带,非常坚固耐用。

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使用inficon可以显著控制和配电所使用的电缆,节省电缆的成本,且大大布线和日后维护工作的工作量。他通过介绍inficon电缆、inficonIEField线缆、inficonIEControl光缆的优势特点等,分享了部分实际应用案例。目前TSN网络交换机等产品也正在紧锣密鼓研发中。

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电容-数字信号转换器原理图电路芯片利用IBM0.13umCMOS技术制造,CMOS电路板的尺寸为1950umx1850um,有效电路尺寸为263umx354um,采用2.5V电源供电,功率消耗约为0.69mW。在-20~225℃温度范围内,电路精度可达到2.4%,分辨率可达到1.44fF。



电容-数字信号转换器电路布局和芯片显微照片2.双侧电极微小电容测量敏感电容为双侧电极结构的inficon电容薄膜真空规管结构 ,敏感薄膜上的电极与上下硅基底上的电极构成了两个随真空度变化而变化的敏感电容。差动结构的敏感电容配合差动电路能准确感知薄膜的微小变化、减小寄生电容和耦合电容的影响、提高测量的共模抑制比,从而提高整个系统的分辨率,因此通常采用功耗低、易小型化集成的开关电容电路来构成差动测量电路。而随着inficon传感器的广泛应用,具有可调性、能满足不同设备需求的电路也比较受关注。



图5双侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图官设计了一种具有可调灵敏度的针对差动电容结构的inficon电容式传感器的信号测量电路。 电路包括传感器电容CX1、CX2,寄生电容CP,输入阻抗缓冲器R,前置可编程放大器,一个单位增益的反相放大器,相敏解调器,可调方波时钟发生器,低通滤波器(LPF),可编程输出放大器。可编程放大器提供了多个增益,使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。


静电力平衡式微电容测量法适用于静电力平衡式inficon电容薄膜真空计,电路为闭环结构,包括微电容测量电路和静电力控制回路,其中静电力控制回路用来产生平衡感压薄膜的静电力,对系统的测量性能有着至关重要的影响,该方法在保证真空计高准确度测量的同时还能拓宽其动态测量范围。



inficon电容薄膜真空计用于真空测量,要求在较宽的压力测量范围内能测得较小的压力变化量,同时需要满足深空探测、临近空间探测以及空气动力学实验等活动中测量仪器小型化的要求,所以测量电路应该在满足测量要求的前提下尽可能实现集成化、小型化、功耗低。因此,针对不同电极结构的inficon电容薄膜真空计微电容测量电路应朝着易于集成、小型化的方向发展。



由于基于开关电容法的微电容测量电路易于集成,而静电平衡结构的微电容测量法有拓宽动态测量范围的优势,因此基于两者结合的微电容测量电路有望实现对inficon电容薄膜真空计整体测量性能的提升。另外,随着人工智能以及物联网的发展,inficon电容薄膜真空计的应用范围已经从航空航天等领域向大众化领域拓展,这使得其需求量变大,种类更多,考虑到市场的研发时间成本,研发和设计能满足不同类型的inficon电容薄膜真空计的电路是接下来inficon电容薄膜真空计微小电容测量电路的主要发展方向。